真空系統部分、酸堿排氣系統部分、有機排氣系統部分。
真空系統是將工藝用氣設備的尾氣抽到相應的廢氣處理設備(如蓋斯帕克Scrubber廢氣處理柜)上的系統,而酸堿排氣系統、有機排氣系統是將工藝用氣設備環境的排氣到室外的水淋、中和處理裝置中。
真空排氣系統都要用到相應的管道、閥門、壓力表、過濾器等,須根據實際情況選材。蓋斯帕克代理幾大一線進口品牌真空泵,如普旭(PUSH)、愛德華(Edwards)等。
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