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新能源/光伏 電子特氣系統(tǒng)

  新能源光伏電子特氣系統(tǒng)是用于保護(hù)新能源光伏電子生產(chǎn)使用特氣安全的系統(tǒng),相較于實(shí)驗(yàn)室電子特氣系統(tǒng)來(lái)說(shuō)對(duì)供氣設(shè)備要求沒(méi)有那么嚴(yán)格。

  新能源光伏電子電子特氣

  易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過(guò)99.999%)的氣體統(tǒng)稱為電子特氣。電子特氣系統(tǒng)工程是用于保證電子特氣的安全使用的系統(tǒng)。

  半導(dǎo)體電子特氣系統(tǒng)組成

  新能源電子特氣系統(tǒng)工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、自動(dòng)切換、監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)幾部分。

新能源光伏電子特氣系統(tǒng)自動(dòng)切換

      芯片電子特氣系統(tǒng)特點(diǎn)

  單臺(tái)電子特氣系統(tǒng)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警,并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;多臺(tái)設(shè)備用PLC或TGO連起來(lái),監(jiān)控報(bào)警系統(tǒng)可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對(duì)接。完善、安全、專業(yè)是我們的特點(diǎn)。

  適合場(chǎng)合:半導(dǎo)體行業(yè)、微電子企業(yè)、光伏太陽(yáng)能、濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等。

  深圳蓋斯帕克長(zhǎng)期致力于電子特氣系統(tǒng)工程的服務(wù),公司自有經(jīng)驗(yàn)豐富的、專業(yè)的安裝工程服務(wù)團(tuán)隊(duì)與專業(yè)的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),成功開發(fā)設(shè)計(jì)有自主專利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統(tǒng)GMS,已成功安裝于諸多高等院校科研室與半導(dǎo)體企業(yè),且目前運(yùn)行良好。


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