半導(dǎo)體芯片電子特氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體芯片行業(yè)安全生產(chǎn)不可缺少的一部分，這個(gè)行業(yè)對(duì)氣體純度要求較高，選用供氣系統(tǒng)配置相比其它行業(yè)要更加的高端。

　　什么是電子特氣

　　易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過(guò)99.999%)的氣體統(tǒng)稱為電子特氣。電子特氣系統(tǒng)工程是用于保證電子特氣的安全使用的系統(tǒng)。

　　電子特氣系統(tǒng)組成

　　電子特氣系統(tǒng)工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)幾部分。

　　電子特氣系統(tǒng)特點(diǎn)

　　單臺(tái)電子特氣系統(tǒng)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;多臺(tái)設(shè)備用PLC或TGO連起來(lái)，監(jiān)控報(bào)警系統(tǒng)可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對(duì)接。完善、安全、專業(yè)是我們的特點(diǎn)。

　　適合場(chǎng)合：半導(dǎo)體行業(yè)、微電子企業(yè)、光伏太陽(yáng)能、濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等。

　　深圳蓋斯帕克長(zhǎng)期致力于電子特氣系統(tǒng)工程的服務(wù)，公司自有經(jīng)驗(yàn)豐富的、專業(yè)的安裝工程服務(wù)團(tuán)隊(duì)與專業(yè)的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，成功開發(fā)設(shè)計(jì)有自主專利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統(tǒng)GMS，已成功安裝于諸多高等院校科研室與半導(dǎo)體企業(yè)，且目前運(yùn)行良好。