什么是高純氣體

　　純度超過99.999%(5N)的氣體統稱為高純氣體。

　　高純氣體系統工程

　　高純氣體系統是指高純氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的總稱。高純氣體系統工程是用于實現特氣系統安全使用的工程。

　　高純氣體系統組成

　　高純系統由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(氣瓶架GR)，“輸送”指配管部分，“分配”指二次配部分(氣體分配盤VMP)，“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。

　　高純氣體系統特點

　　高純氣體系統中的每臺設備均配有自己的控制系統及操作界面，可獨立運轉，可配溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警，并可擴展地震監控報警;也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統，在監控中心統一進行管理監控，報警系統還可以與安監系統、消防系統對接。

　　適合場合

　　既適合芯片半導體、微電子企業、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業的非危險氣體，同樣適合高等院校、科研院所、檢驗檢疫單位。