半導體芯片電子特氣系統(tǒng)是半導體芯片行業(yè)安全生產(chǎn)不可缺少的一部分，這個行業(yè)對氣體純度要求較高，選用供氣系統(tǒng)配置相比其它行業(yè)要更加的高端。

　　什么是電子特氣

　　易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的氣體統(tǒng)稱為電子特氣。電子特氣系統(tǒng)工程是用于保證電子特氣的安全使用的系統(tǒng)。

　　電子特氣系統(tǒng)組成

　　電子特氣系統(tǒng)工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)幾部分。

　　電子特氣系統(tǒng)特點

　　單臺電子特氣系統(tǒng)設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警，并可擴展地震監(jiān)控報警;多臺設備用PLC或TGO連起來，監(jiān)控報警系統(tǒng)可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接。完善、安全、專業(yè)是我們的特點。

　　適合場合：半導體行業(yè)、微電子企業(yè)、光伏太陽能、濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等。

　　深圳蓋斯帕克長期致力于電子特氣系統(tǒng)工程的服務，公司自有經(jīng)驗豐富的、專業(yè)的安裝工程服務團隊與專業(yè)的設計團隊，成功開發(fā)設計有自主專利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統(tǒng)GMS，已成功安裝于諸多高等院校科研室與半導體企業(yè)，且目前運行良好。