氣路管道總管與支管道流量-電子特氣工藝系統(tǒng)組成及要求 電子特氣工藝系統(tǒng)組成及要求 電子特氣工藝系統(tǒng)一般性要求 電子特氣工藝系統(tǒng)是用來處理特殊氣體的一個系統(tǒng)，這里主要介紹下工藝氣體系統(tǒng)及特種氣體工藝系統(tǒng)的組成及以下設(shè)計方面的要求。　　 

電子特氣工藝系統(tǒng)簡介 　　

我們知道一般工藝氣體都是儲存在鋼瓶中，在集中供氣系統(tǒng)中一般要有專用裝置儲存鋼瓶，在過去十多年中，蓋斯帕克沒有發(fā)明集中供氣之前，特種氣體供應(yīng)沒有形成有效的系統(tǒng)，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混放等問題非常嚴(yán)重，極大的影響到用氣安全。 　　

電子特氣工藝系統(tǒng)統(tǒng)組成 　　 

1、儲存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格。 　　

2、氣體分配用閥門箱、閥門盤。 　　

3、輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)。 　　

4、尾氣處理裝置。 電子特氣工藝系統(tǒng)要求 　　

1、電子特氣工藝系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特氣工藝的參數(shù)、污染控制、使用安全的要求。 　　

2、不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng)。 　　

3、不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。