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雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱：雙瓶特氣柜

規(guī)格：雙工藝氣瓶，全自動(dòng)

型號(hào)：HSPGC150206 

■ 特氣柜尺寸：W850寬×D500深×H1800高 

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口 

■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口 

■ 氣動(dòng)隔膜閥：CDA驅(qū)動(dòng)，1/4"卡套接口 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工藝氣體出口：2個(gè)，1/4"MVCR接口 

■ 盤面規(guī)格：1/4"盤面

■ 標(biāo)準(zhǔn)配備：自動(dòng)切換，防爆防腐柜體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報(bào)警，遠(yuǎn)程切斷，欠壓報(bào)警，主材SS316L

■ 柜體換氣量:OD100mm排氣口，SiH4-1200次/小時(shí)，其余300次/小時(shí) 

■ 控制柜尺寸：W850寬×D230深×H320高 

■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護(hù)

■ 操作界面：7"彩色觸摸屏

■ 選配：工藝氣瓶重量監(jiān)控器，工藝氣體超壓報(bào)警，盤面加熱及溫控裝置，報(bào)警信號(hào)手機(jī)短信與電話通知 

適用范圍：應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上，體現(xiàn)于芯片半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。